入门：个人首推Robert F. Pierret的《Semiconductor Device Fundamentals》，讲得很细很全，定性定量(Matlab scripts)。其他可以考虑刘恩科的《半导体物理》或者施敏的那本《器件与工艺》。另外特别提一下Chenming Hu的《Modern Semiconductor Devices for Integrated Circuits》，鄙人的师祖，是现在的微电子业界学界一霸，个人感觉书没有Robert F. Pierret的好(当然我也没细看过)，不过配图很多，适合入门，另外电子版免费。。附上传送门：Modern Semiconductor Devices for Integrated Circuits进阶：如果喜欢R. F. Pierret的风格可以继续看他的《Advanced Semiconductor Fundamentals》这本书里会把一些物理问题讲得很透。如果重心在器件的话可以看施敏的《Physics of Semiconductor Devices》或者Yuan Taur的《Fundamentals of Modern VLSI Devices》，该讲的也都讲到了。再进阶就细分方向了，不太容易评价书的好坏了，其实看书不如去看论文，IEDM，TED，EDL等都是比较偏器件和物理的。另外同意 @胥超 的回答，半导体再往底就是很理论的一些物理，虽然不好啃，但是如果要从事的不仅仅是偏工程的工作的话，也是有必要看看的，至少要从晶格相关的理论开始把能带是怎么推出来的搞明白会比较好。
